보유장비
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XPSX-선 광전자분광기
- 담당자 유지은 / 042-860-7046
- 기기실 315호 (N3)
| 분석항목 | 분석료 |
|---|---|
| 원소 분석(Survey scan) | 120,000원 / 시료 |
| 상태 분석(High resolution scan) | 30,000원 / 원소 |
| UPS | 160,000원 / 시료 |
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시료 정보
시료 상태 파우더 및 고체 시료
시료 준비 최소 양 0.5g / 크기 1cmⅹ1cm
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원리 및 특징
XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy) :1000~1500eV 정도의 에너지를 가지는 X-선에 의해 여기된 광전자의 결합 에너지 스펙트럼을 분석하여 시료 표면의 원소 조성과 각 원소의 화학 상태 분석
UPS(UV Photoelectron Spectroscopy) : 10∼20 eV 에너지의 극자외선을 시료 표면에 조사할 때 방출되는 광전자를 검출하여 표면의 전자 구조 및 가전자(valence electron) 상태 분석
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용도 및 활용분야
다양한 시료의 극표면에 대한 정성 · 정량 및 화학적 결합상태 분석에 활용
도체 소재, 박막, 금속, 화합물, 유리, 촉매, 고분자 및 나노소재
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보유장비 및 주요규격
제조사 KRATOS 모델명 AXIS SUPRA 주요 사양 X-ray Source: monochromatic Al Ka (1486.7 eV) Sensitivity and resolution: > 400,000 cps at < 0.48 eV (Ag 3d5/2 peak, 700×300 ㎛) GCIS: 0.5 ~ 8 keV (Monoatomic Ar+ ion mode) ~ 20 keV (Arn+ cluster ion mode, n=500~3000) AES: Schottky field emission Electron gun: 10kV, 3kV UPS: He (I) or He (II), minimum step size is 1 meV Temperature Range: RT ~ 700 ℃ (by liquid nitrogen)
