보유장비
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High resolution scanning electron microscope초고분해능 주사전자현미경
- 담당자 신예진 / 042-860-7779 / yjshin@krict.re.kr
- 기기실 103호 (N5)
| 분석항목 | 분석료 |
|---|---|
| FE-SEM | 50,000/시료 + 추가 매수당 20,000 |
| EDS | 60,000/시료 + 추가 매수당 20,000 |
| Flat-quad EDS | 110,000/이미지 |
| μ-XRF | 110,000/이미지 |
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시료 정보
시료 상태 고체
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원리 및 특징
집속된 전자빔을 주사함으로 전자빔과 시료와의 상호작용에 의해 발생되는 이차전자, 후방산란전자 및 X-ray를 이용하여 시료의 미세구조분석과 원소의 정성 및 정량분석에 활용
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용도 및 활용분야
시료 표면 및 단면 형상 관찰
나노소재, 전자재료, 바이오소재 등
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보유장비 및 주요규격
제조사 Carl Zeiss 모델명 Gemini 560 주요 사양 Detector : EDS, Flat-quad EDS, STEM, μ-XRF, In-lens SE, In-lens EsB, Chamber SE, Se under variable pressure, BSE
Resolution : 1.0nm 이하 at 500V / 0.8nm 이하 at 1kV / 0.6nm 이하 at 15kV / 0.4nm 이하 at 30kV(STEM)
In-lens SE, Chamber SE, STEM
Magnification range : 1x 이하 ~ 2,000,000x 이상
NanoVP Vacuum range : 10 Pa 이하 ~ 500 Pa 이상
