시료 상태 고체

수차보정투과전자현미경은 가속된 전자빔을 관측 시료에 조사하여 시료와 전자빔 간의 상호작용에 의해 발생하는 다양한 시그널을 통해 시료의 형태, 결정구조, 원소분포, 전자구조 등을 분석하는 원리이며, 수차보정기 (Cs corrector)를 통해 원자단위의 구조분석이 가능하고, 나노, 반도체, 디스플레이, 바이오 등 다양한 분야의 물질 분석에 활용

재료의 표면 형상, 결정구조, 적층결함, 계면의 초 미세 표면구조분석, 원소분포, 전자구조 등 분석에 활용