보유장비
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FE-SEM전계방사형 주사전자현미경
- 담당자 조혜진 / 042-860-7735
- 기기실 310호 (N3)
| 분석항목 | 분석료 |
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| FE-SEM | 50,000/시료 + 추가매수당 20,000 |
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시료 정보
시료 상태 고체
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원리 및 특징
집속된 전자빔을 주사함으로 점자빔과 시료와의 상호작용에 의해 발생되는 이차전자, 후방산란전자 및 X-ray를 이용하여 시료의 미세구조분석과 원소의 정성 및 정량분석에 활용
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용도 및 활용분야
시료 표면 및 단면 형상 관찰
나노소재, 전자재료, 바이오소재 등
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보유장비 및 주요규격
제조사 Cal Zeiss 모델명 SIGMA HD 주요 사양 Detector: EDS, Flat-quad EDS, STEM, BSE Resolution: 0.5 nm 이하 at 15 kV In-lens SE, In-lens EsB, Chamber SE, BSE, STEM Acelearating voltage: 0.2 ∼ 30 kV 이상 Beam current: 100 nA 이상 Magnification range: 25 ∼ 2,000,000 배
