보유장비
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FIB-TOF/SIMS집속이온빔 이차질량분석기
- 담당자 조혜진 / 042-860-7735
- 기기실 310호 (N3)
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시료 정보
시료 상태 파우더 및 고체 시료
시료 상태 최소 0.1 g, 1 cm × 1 cm
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원리 및 특징
Xe 플라즈마 기반의 집속이온빔 사용으로 대면적 가공이 용이하며, 집속이온빔과 TOF/SIMS 를 결합하여 극미량 원소 분석 및 구조 분석이 가능한 장비
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용도 및 활용분야
대면적 단면 분석 및 TEM 분석을 위한 초미세 시편 제작 경원소 및 극미량 원소 분석
Depth profile 분석을 통한 3차원적 분석결과 이미지화
디스플레이, 이차전지, 반도체 분야 등의 첨단 소재
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보유장비 및 주요규격
제조사 Thermo Fisher scientific 모델명 Helios G4 PFIB CXe 주요 사양 FIB Ion Beam Optics TOF,SIMS SEM Resoluton: 0.6 nm @ 15 kV ~ 2 kV SEM Resoluton: 0.6 nm @ 15 kV ~ 2 kV Ion source: Xe plasma Lateral resolution: <50 nm Voltage: 2 ~ 30 kV Depth resolution: <20 nm @ 5 kV Beam current: 1.5 pA ~ 2.5 μA (20 steps aperture strip) Maximum mass: 500 ~ 600 Th Resolution: 10 nm @ 30 kV Mass resolution: 800 M/ΔM at M around 120 or wider
