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보유장비

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      Stylus Profiler접촉식 표면단차/두께 측정기

      • 담당자 변아름 / 042-860-7779 / albyeun@krict.re.kr
      • 기기실 316호 (N3)

      • 시료 정보

        시료 상태 고체, 박막, 필름 등

      • 원리 및 특징

        미세한 tip을 표면에 접촉시켜 scanning 함으로서 시편에 존재하는 박막 및 코팅막의 단차를 측정하는 장치

      • 용도 및 활용분야

        표면 분석

        반도체, 하드 디스크, 천연 광물, 폴리머, 표면 전자 구조

      • 보유장비 및 주요규격

        제조사 Bruker
        모델명 DektakXT
        주요 사양 Stylus Force: 1 ~ 15 mg
        Z-Axis resolution: 1 Å
        Max. Sample Thickness: 50 mm
        Data Scan Point: Max. 120,000
        Standards: ISO 4287

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